工业洁净厂房也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
一、ISO_14644洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级
|
|
大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值（pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算） |
|||||
|
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
|
|
ISO Class 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
|
ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
|
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
|
ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
|
ISO Class 7 |
|
|
|
352 000 |
83 200 |
2 930 |
|
ISO Class 8 |
|
|
|
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
|
ISO Class 9 |
|
|
|
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
|
注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。 |
||||||
二、洁净车间净化原理
气流⇒初效空气净化⇒空调⇒中效空气净化⇒风机送风⇒管道⇒高效空气净化⇒洁净间⇒吹走尘埃细菌等⇒回风百叶窗⇒新风、初效空气过滤器
重复以上过程，即可达成净化目的。
三、洁净车间人流路线要求：
四、工业洁净厂房温湿度范围
|
房 间 性 质 |
温度（oc） |
湿度（%） |
||
|
冬季 |
夏季 |
冬季 |
夏季 |
|
|
生产工艺有温湿度要求的洁净室 |
按生产工艺要求确定 |
|||
|
生产工艺无温湿度要求的洁净室 |
20~22 |
24~26 |
30~50 |
50~70 |
|
人员净化及生活用室 |
16~20 |
26~30 |
|
|
五、气流流型和送风量（静态）
|
|
气流流型 |
平均风速 |
换气次数 |
|
1~4 |
单向流 |
0.3~0.5 |
－ |
|
５ |
单向流 |
0.2~0.5 |
— |
|
６ |
非单向流 |
— |
50~60 |
|
７ |
非单向流 |
— |
15~25 |
|
8~9 |
非单向流 |
— |
10~15 |
六、洁净室压差控制
1、 洁净室与周围的空间必须维持一定的压差，并应按生产工艺要求决定维持正压差或负压差。
2、 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于5Pa，洁净区与室外的压差，应不小于10Pa。
3、洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。
4、送风、回风和排风系统的启闭应联锁。正压洁净室联锁程序为先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相反。
负压洁净室联锁程序与上述正压洁净室相反。
5、 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。
七、噪声频谱的限制值（空态）
|
|
63 |
125 |
250 |
500 |
1000 |
2000 |
4000 |
8000 |
|
非单向流 |
79 |
70 |
63 |
58 |
55 |
52 |
50 |
40 |
|
单向流、混合流 |
83 |
74 |
68 |
63 |
60 |
57 |
55 |
54 |
八、净化空调系统风管内风速要求
1、总风管为6~10m/s。
2、无送、回风口的支风管为4~6m/s。
3、有送、回风口的支风管为2~5m/s。