自从人们以电子作为光源,并利用电磁透镜使之会聚成像之后,近年来兴起了一门新的科学——电子光学。于是电子显微镜以崭新的面貌出现,为人类向微观世界和高技术领域的进展提供了强有力的武器。各种电镜(透射电镜、扫描电镜、俄歇电镜、扫描隧道电镜),电子探针,各种表面分析仪以及电子束曝光机,电子束退火装置等的研究,制造和开发利用非常活跃,业已深入到微电子技术的各个领域,对微电子技术的发展起着巨大的作用。
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光学微电子洁净室应用实例 |
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洁净度等级ISO等级 |
气流流型 |
平均风速（m/s） |
单位面积送风量（m3/m2.h） |
应用实例 |
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2 |
单向流流型 |
0.3-0.5 |
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光刻，半导体工艺区 |
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3 |
单向流流型 |
0.3-0.5 |
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工作区，半导体工艺区 |
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4 |
单向流流型 |
0.3-0.5 |
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工作区，多层掩膜工艺、密盘制造半导体服务区、动力区 |
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5 |
单向流流型 |
0.2-0.5 |
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6 |
非单向流流型 |
0.1-0.3 |
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动力区、多层工艺、半导体服务区 |
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单向流流型或非单向 |
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70-160 |
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7 |
非单向流流型 |
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30-70 |
服务区 |
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单向流流型或非单向 |
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8 |
非单向流流型 |
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10-20 |
表面处理 |